반도체장비(Semiconductor Equipment)
AGV/LGV/OHT 자동화
반도체 라인 자동화
- 자동화 라인 시스템
- Back-End line, 특히 웨이퍼 처리 라인 / J-DEK Tray / Magazine handling line 등의 반도체 자동화 Line 에 효과적
세부사항
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J-DEK Tray 용 AGV
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- J-DEK Tray 최대 50EA Handling
- 로딩/ 언로딩 구분
- 전진과 후진, 좌측 및 우측 주행 가능
- “S” 자 주행 가능
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FOSB/ FOB 용 AGV
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- FOB/FOSB 등 Wafer Handling
- 1대의 AGV에 2 개의 Loading port 처리
- 전진과 후진, 좌측 및 우측 주행 가능
- “S” 자 주행 가능