클린 물류 반송 시스템(Clean Transfer System)
AGV & LGV Transfer System
- AGV와 LGV에 의한 자동화 전송 시스템으로 라인의 바닥면에서 AGV 및 LGV에 의하여 이송하고자 하는 자재를 해당 장비에 자동으로 로딩 및 언로딩
세부사항
| 반송물 | FOSB, FOB, 웨이퍼 카세트(Wafer Cassette), Megazin, Tray 등 |
|---|---|
| 청정도 | #100 |
| 전력 공급 | NCP( 비접촉 전력 공급) |
| 전원사양 | DC300V 15A |
| 드라이브 유형 | 휠 드라이브(불코란 휠) |
| 조작 | 스카라 로봇(Scara Robot) 유형 |
| 구성 | “S” 자 주행 가능 |