클린 물류 반송 시스템(Clean Transfer System)
Over Head Transfer System (OHT)
- Over Head Track을 운송하는 자동화된 시스템으로 천정에 RAIL을 따라 고속으로 반송하고, CASSETT를 벨트를 이용한 Hoisting 방식으로 물류를 이송하는 장비로 차세대 FAB의 주요 교통 시스템으로 인식
세부사항
| 반송물 | Cassette |
|---|---|
| Clean Class | Class #10 |
| 전원공급 | NCP(비접촉 전원 공급) |
| 전원사양 | DC300V 15A |
| 주행방식 | 휠 구동(Vulkollan Wheel) |
| Hoisting 방식 | BELT Type |
| Composition | Driving Unit, Hoisting Unit, Hand Unit, ANTI DROP, Sliding & Turn Unit |